臭氧发生器是用于制取臭氧气体（O₃）的装置。臭氧易于分解无法储存，需现场制取现场使用（特殊的情况下可进行短时间的储存），所以凡是能用到臭氧的场所均需使用臭氧发生器。臭氧发生器在饮用水，污水，工业氧化，食品加工和保鲜，医药合成，空间灭菌等领域广泛应用。

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臭氧发生器检测项目包括：

出口臭氧气体浓度监测，采用高浓度紫外分光法臭氧检测仪。

水中臭氧浓度监测，采用电化学水中臭氧浓度检测仪。

尾气臭氧浓度监测（臭氧尾气破坏器之前），采用高浓度紫外分光法或者电化学法臭氧检测仪。

尾气臭氧浓度监测（臭氧尾气破坏器之后），采用高浓度紫外分光法或者电化学法臭氧检测仪。

露点，采用露点仪。

环境空气中臭氧泄露监测，采用电化学法臭氧检测仪。

环境空气中氧气泄露监测，采用电化学法氧气测试器。

烯烃类浓度监测，采用电化学传感器检测仪。

臭氧发生器检测流程如下：

启动菌检室空调系统，在臭氧发生器控上设置开机消毒时间，将臭氧消毒机消毒时间设置为2小时。

启动臭氧发生器，臭氧发生器开始工作。

臭氧发生器运行15min、30min、45min时用臭氧检测仪检测工作间的臭氧浓度，确定房间内臭氧浓度达到10ppm设计浓度的时间。

臭氧发生器运行1个小时和2个小时时用臭氧浓度检测仪检测各个房间的臭氧浓度，每个房间测试两个点。

关闭臭氧发生器，将洁净区东线空调系统的新风阀恢复至正常使用位置，打开系统的排风阀。